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产品名称

空气轴承定位平台

特征大银提供多样化的定位平台,如单轴、X-Y双轴、桥式、龙门及X-Y-Z三轴直交机器人,以满足各种自动化应用的需求。多样化的定位平台已广泛应用在各个技术领域,如光学检测、雷射加工、胶材涂布、金属加工及其他自动化生产设备。丰富的规格及快速客制化的能力,能充分满足客户大量生产、缩短产品开发时程及严格使用环境等高规格的要求。
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产品描述
产品参数

特征

针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之一秒内达到奈米误差内要求,大幅减少运动整定时间与组件磨耗率,提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供,帮助客户大幅缩短设备开发时程,节省许多整合时间与成本,使其更聚焦本身关键制程Know-how。

 

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