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晶圆装卸机 Load Port
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特征
多款规格共享
HIWIN晶圆装卸机Load Port HLP系列可共享8吋与12吋产品加载载出，能直接对应8吋与12吋FOUP/FOSB，亦可选配8吋open cassette、12吋metal carrier的载具对接平台。
关键零组件自制
HIWIN晶圆装卸机Load Port HLP系列的各关键零组件，如滚珠丝杠、直线导轨与单轴机器人等，皆由HIWIN自行研发制造且软硬件垂直整合，可依客户需求进行弹性客制化服务。
应用
适用于光刻、蚀刻、CVD、PVD
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RWDE 双臂晶圆机器人