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晶圆装卸机 Load Port

E1系列驱动器

泛用型的设计可支持AC伺服、直线与直驱电机等,可满足各种产业的应用需求。
智能化的免调适功能可轻松应付不同负载变动的机构,快速且稳定地让机台运转,有效缩短教机时间。
进化的自动调适更能达成机台性能优化,搭配高达3.2kHz的速度带宽能大幅提升机台的生产力。
拥有独特的龙门控制功能,其优异的性能为用户带来更高性价比的控制驱动方案。

200V~240Vac电源输入
支援Functional Safety: STO功能
支持3种脉波控制命令(A/B, Pulse/dir, CW/CCW)输入
独立2组16-bit高分辨率模拟电压命令输入,适用于速度与转矩控制模式
支持标准EtherCAT与MECHATROLINKIII高速通讯接口
内建速度涟波补偿、震动抑制与误差补偿功能
关键字

KC B-TYPE 单轴机器人

关键字

HIWIN 不锈钢型直线导轨

关键字

CRG系列 覆盖带滚柱型直线导轨

特征
四方向皆具有超高刚性
CRG系列直线导轨以滚柱型滚动体取代了滚珠,藉由滚柱与滑轨与滑块的线接触方式,滚柱在承受高负载时仅微量的弹性变形,不仅可大幅提升直线导轨的刚性值,更能维持高精度的加工。
 
长使用寿命
与滚珠滚动体相比,滚柱滚动体的接触应力分布在直线区域上,因而接触应力显著下降。因此,CRG 系列可以提供更长的使用寿命
 
用覆盖带取代螺栓盖
以覆盖带取代螺栓盖来覆盖螺栓孔。因此,轨道上表面光滑,不会堆积脏污。
 
应用
CNC加工机、重切屑加工机、CNC磨床、射出成型机、大型龙门机床
 
关键字

RWDE 双臂晶圆机器人

直驱电机-DMT

RWSE 单臂晶圆机器人

晶圆寻边器

关键字
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