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晶圆寻边器

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双轴定位平台 标准版

采用LMC无铁心式线性电机系列,适合点到点精密定位及要求等速的扫描运动。
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龙门架位平台 标准版

藉由各种标准单轴定位平台的堆栈组合,可构成许多不同行程及功能的标准龙门架构定位定位平台,能有效缩短产品开发时程并且大量生产,此类型定位平台常应用于光电组件、面板显示、医疗器材产业等。
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E1 系列伺服电机

全新开发AC伺服电机,不但延用于面板、半导体、激光切割、PCB、工具机、3C电子、能源、汽车、量测/检测…等相关自动化产业,较前一代FR系列提升最高转速、更高解析精度回授、体积更小,另搭配全新E1驱动器更能展现出快速定位整定、运转稳定性佳、变动负载免调适等新优势,有效提升整体设备工作效率及等级。
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FR 系列

AC伺服电机为高转速低扭矩泛用型旋转电机,常被应用于自动化、加工机、翻转机、检测设备或绕线机等。搭配伺服驱动控制,可实现高响应、高加减速与极佳的运动平稳性。搭配各种传动组件与多样化的马达选配,满足各种客户应用需求。
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棒状电机

特征线性马达源自于劳伦兹法则(Lorentz),即利用电流(I)与磁场(B)的相互作用而产生推力(F),加上本身磁铁排列与多动子的运用,可实现行程不受限制与单轴多动子的独立运动,藉由搭配精密伺服回馈可轻易实现奈米定位精度的控制。
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RS406-600-400-LU

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铁心式直线电机

特征线性马达源自于劳伦兹法则(Lorentz),即利用电流(I)与磁场(B)的相互作用而产生推力(F),加上本身磁铁排列与多动子的运用,可实现行程不受限制与单轴多动子的独立运动,藉由搭配精密伺服回馈可轻易实现奈米定位精度的控制。
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无铁心式直线电机

特征线性马达源自于劳伦兹法则(Lorentz),即利用电流(I)与磁场(B)的相互作用而产生推力(F),加上本身磁铁排列与多动子的运用,可实现行程不受限制与单轴多动子的独立运动,藉由搭配精密伺服回馈可轻易实现奈米定位精度的控制。
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